高精度电流传感器在真空镀膜设备中的应用研究（高精度电流传感器在真空镀膜设备中的应用）

真空镀膜机作为关键设备，用于在真空环境下进行薄膜镀膜。在光学镀膜、金属镀膜等领域有着广泛的应用。准确监测和控制电流是获得高质量薄膜的关键。传统电流传感器在真空环境下存在温漂大、精度低等问题，制约了真空镀膜机的性能和工艺稳定性。

真空镀膜设备

传统解决方案：

电流传感器在真空镀膜机中的应用主要是用来监测和控制电流。在真空镀膜机中，由于高真空环境下温度变化较大，传感器可能会受到温度的影响，导致输出电流值出现偏差。如果电流传感器的温度漂移较大，系统的电流控制就会不准确，从而影响薄膜的沉积速率和厚度均匀性。如果电流传感器的精度较低，即输出电流值与真实值偏差较大，系统将无法精确控制沉积速率和膜厚。特别是对于一些对薄膜质量要求较高的应用，例如光学镀膜，精度较低的电流传感器可能会导致薄膜的光学性能不稳定或不符合规格要求。霍尔电流传感器通常采用传统方法来检测电流值。但传统霍尔电流传感器存在温差大、精度不够等问题，制约了真空镀膜机的性能和稳定性。

航智产品解决方案：

为了解决这些问题，航智提出了基于磁通门技术原理的电流传感器解决方案。高精度、低零漂的特点完全满足真空镀膜机的应用要求。

通过精确测量和控制电流，高精度电流传感器能够实现更精确的沉积速率和厚度控制，从而提高薄膜均匀性和质量稳定性。在需要高薄膜质量的光学镀膜等应用中，高精度电流传感器可以帮助实现更高的光学性能和表面平整度。

精确的电流测量和控制有助于优化工艺参数，提高真空镀膜机的生产效率。通过微调电流，可以实现更快的沉积速率或更少的能耗，从而提高设备利用率和产量。

高精度电流传感器具有更好的稳定性，可以减少电流测量的漂移和波动，提高过程稳定性。稳定的电流控制有助于减少薄膜波动和不均匀性，提高产品的一致性和重复性。

航智电流传感器在真空镀膜机中的应用，可以有效解决传统方案的痛点，提高薄膜质量和工艺稳定性，提高生产效率和产品一致性，为真空镀膜机带来更大的优势和应用潜力。

航智HIT系列电流传感器是一款基于磁通门原理的产品，旨在大批量替代霍尔电流传感器。与闭环霍尔电流传感器相比，HIT系列传感器在性能上表现得更好。其精度可达0.05%，远高于闭环霍尔效应电流传感器的0.2%。此外，HIT系列传感器的带宽可达100kHz，比闭环霍尔电流传感器高2倍。同时，HIT系列传感器实现了小型化设计，与霍尔电流传感器具有相同的接口和体积，易于更换和直接使用。该系列产品型号包括：HIT50、HIT100、HIT200、HIT300、HIT500、HIT600，可测量50A至600A的直流、交流和脉冲电流。

HIT系列高精度电流传感器HIT系列高精度电流传感器

高精度：0.05%

电流范围：10A~1000A可选

全系列：单品1%-100%精度保持一致

温漂小：一致性好，不受温度影响，0.1PPM/度

线性度：高达50ppm

宽带宽：高达100kHz @3 dB

响应时间：1s

工作温度范围：-40.+85 C

稳定性（0.2 ppm/月）

交直流通用：可测量交、直流、脉冲电流智能：带负载启动、过载保护、自恢复

公司简介

深圳市航智精密电子有限公司是一家致力于高精度电流传感器、电压传感器、高精度电测仪器的研发、生产、销售及方案定制的技术领先企业。我们努力打造直流领域精密电流传感器和精密电测仪器的知名品牌，努力发展成为直流系统领域国际领先的精密电子公司。