六足运动平台在运动控制领域有着悠久的应用历史,但近年来,传统的六自由度(6-DOF)定位设备面临着更高精度、更高重复性和更好几何性能的行业需求。在满足需求的时候,显得有些不够。下面我们就一些ALIO位移台参数进行详细说明,以便您了解ALIO六自由度位移台相对于传统六足位移台的改进。
准确性
精度是指在特定的三维空间中实际位置与测量装置测量的位置之间的差异。对于测量设备来说,精度受到反馈机构(如ALIO六轴平台的增量编码器)、驱动机构(如滚珠丝杠、导杆、直线电机)和轴承路径精度的影响。
重复性
可重复性定义为系统在相同条件下被重复命令到相同位置时所达到的位置范围。单向重复性是通过从一个方向接近该点来测量的。双向重复性是测量系统在两个方向返回该点的能力。
解决
分辨率定义为系统的最小可识别位移。分辨率也由反馈设备决定。
最小步长
(最小增量步长)
定义为系统的最小可行移动量,也称为步长。
沥青
定义为系统的最小可行移动量,也称为步长。
俯仰是绕垂直于行进方向的水平面中的轴的旋转。如果测量的感兴趣位置不位于旋转中心,则俯仰旋转会导致两个维度上的阿贝误差。对于X 轴,俯仰旋转会导致X 和Z 方向上的阿贝误差。对于Y 轴,螺距旋转会导致Y 和Z 方向上的阿贝误差。这些误差的大小可以通过将偏移距离的长度乘以旋转角度的正弦和1减去旋转角度的余弦来确定。
卷
滚动是围绕平行于行进方向的水平面中的轴的旋转。如果测量的感兴趣位置不位于旋转中心,滚动旋转会导致两个维度上的阿贝误差。对于X 轴,滚动旋转会导致Y 和Z 方向上的阿贝误差。对于Y 轴,滚动旋转会导致X 和Z 方向上的阿贝误差。这些误差的大小可以通过将偏移距离的长度乘以旋转角度的正弦和余弦来计算。
偏航
偏航是绕垂直于行进方向(Z 轴)的垂直平面中的轴的旋转。如果测量的感兴趣位置不位于旋转中心,偏航旋转会导致两个维度上的阿贝误差。用于X 轴或Y 轴工作台。
齿隙误差(齿隙)
回程误差是由于行进方向反转而引起的定位误差。反向间隙是指令运动的一部分,当行进方向反转时,不会产生位置变化。齿隙是由传动系统中元件之间的间隙引起的。随着间隙的增加,产生运动所需的输入量也会增加。间隙的增加导致齿隙误差的增加。间隙也会影响双向重复性。 ALIO位移台的系统设计通过避免万向节消除了回程误差,大大提高了位移台的整体性能。
直线度
直线度是指水平面上的真实行进线相对于行进方向的偏差。平面度是指相对于行进方向与真实行进线的垂直方向的偏差。对于ALIO平台,直线度和平面度参数与平台的安装表面有关。详情请联系浩亮光电。
用完
跳动是旋转机械系统中的一种不精确性,特别是当工具或轴不完全与主轴线旋转时。例如;钻孔时,由于钻头离轴旋转(离轴而不是同轴),跳动会导致孔大于钻头的公称直径。对于轴承来说,跳动会导致机器振动并增加轴承载荷。
反弹主要有两种形式:
径向跳动:由于刀具平行于机器轴线平移,因此沿机器轴线的每个点的径向跳动测量结果都是相同的。
轴向跳动:由于工具或零件与轴线的角度而导致工具(或轴)尖端相对于参考位置的偏心旋转。轴向跳动的大小取决于测量点与参考位置之间的距离。
ALIO 的混合六足位移台可提供小于100 纳米的3D 6 轴点精度重复性,使其成为激光加工、光学检测、光电、半导体、计量和医疗设备领域以及所有微加工领域关键任务应用的关键技术项目。