测硅片电阻率的测试仪（硅片 电阻率）

硅片电阻率测试仪TS1700

硅片电阻率测试仪TS1700功率输出/测量：内置直流稳压电源和精密电流测量单元，测量不确定度为0.1%。

硅片电阻率测试仪TS1700可以在每次测量过程中将电压值稳定在500mV，同时测量回路电流，范围为0至1.2A。

触点执行结构：由2个螺旋钻头、10根带触点的金属棒、施压装置等组成。

标准触点（标准推荐）：单个触点面积约为64.5 mm2，10个触点总面积为645 mm2。

可选触点（可选配件）：单个触点面积约为100mm2，10个触点总面积达到1000mm2。

导电橡胶触点（TS1700-B）：此触点为导电橡胶，面积为645 mm2，可以实现触点与样品之间的软接触。比富兰克林法具有更高的重复性和可比性。

钻头具有非常好的锋利度，在一定的压力下可以轻松穿透电工钢的表面涂层。

钻头和接触金属杆由电动缸驱动，在垂直方向同步移动，接触样品进行测试。

测试时，单个触点的表面压力约为2N/mm2，并配备压力传感器实时监测施加的压力。

样品盘：由电机驱动，可前后移动样品，寻找多个不同的测试区域，获得多组测试数据。通过软件可设置1~5组测试点。

系统验证标准：配备标准电阻电路板，用于系统的日常验证。

移动测控台：通过液晶触摸屏设置测试参数，观察测试状态和结果，使用方便。

专业测试软件：除了设置参数、放置样品外，其他测试过程都可以通过软件自动完成。

软件可实时显示测试的电压、电流、压力值并记录每组测试数据。

硅片电阻率测试仪TS1700

硅片电阻率测试仪TS1700

5、硅片电阻率测试仪TS1700样品要求

样品尺寸：（300mm500mm）（200mm）（长宽）

样品厚度：0.1mm1.0mm

其他要求：样品表面应清洁、光滑、无痕迹、划痕。

6、硅片电阻率测试仪TS1700通用技术规范

电源交流（22022）V，（502）Hz

温度性能工作温度：040；储存温度：-2070

湿度性能工作湿度：40%~80% RH 无凝露

储存湿度：95% RH，无凝露