微纳米加工的基本过程（微纳米加工技术及其应用）

微纳加工技术是先进制造的前沿技术。但受基础装备、工艺技术、产业基础等方面影响，我国超精密加工技术及应用与世界先进水平还存在巨大差距。为了解决微型零件的加工需求，速必得创新研发了超高精度设备KASITE-SKD系列微纳加工中心，加工余量范围为20nm-100m。

超精密CNC加工/超精密加工—— 传统加工中的“高精度”是指个位数微米级的公差。 KASITE-SKD系列微纳加工中心采用高精度高响应直线电机、光栅反馈（10nm/20nm/50nm/100nm）、高速高精度（1m）高速电动主轴和高倍率远心镜头。实现公差达到“亚微米”级精度。

超精密加工是一种高度自动化的工艺，旨在以极高的精度形成高度复杂的零件。 KASITE-SKD系列微纳加工中心配备具有CNC功能的运动控制卡，对每条指令进行编程计算，定制运动轨迹控制，编辑不同形状，自动完成零件加工要求。

此外，KASITE-SKD系列微纳加工中心采用先进的上下摄像视觉定位系统：

上相机校准刀具中心和相机中心误差，在线检测工件尺寸，确定余量，然后进行微纳加工。

下摄像头具有对刀功能（静态对刀XYZ值对刀）和动态对刀摆补偿。

将超精密自动化加工与先进视觉系统相结合，实现高精度：

实现纳米级材料去除的加工技术，实现特征尺寸从几微米到数百微米的三维结构加工，实现超高孔深系数钻孔加工技术的行业应用

KASITE-SKD系列微纳加工中心广泛应用于航空航天、光学、生物医药、半导体、通用机械加工、模具制造等领域高精度加工的钻、铣、磨加工。

加工案例

文章来源：Speedcoder 电机技术