薄膜厚度测量仪器（薄膜厚度用什么仪器测量）

随着科学技术的日益发展，各领域的产品精度要求越来越高。经过不断的研发和测试，优科测试技术团队正式发布了【膜厚测量仪AF-3000系列】。超高精度的测量参数和多层薄膜测量能力，满足各行业的薄膜测量需求，助力各行业产品的制造和迭代以及时代的进步。

您想了解Uketest的薄膜测量仪是如何测量薄膜厚度的吗？它可以测量多薄的薄膜？今天小友医生就来为您解答！

01 测量原理

AF-3000系列仪器发射不同波长的光波，穿透样品薄膜。来自薄膜上下表面的反射光被仪器接收，反射光之间的相位差被增强或减弱。

当相位差为波长的整数倍时，发生相长叠加，此时反射率最大；

当相位差为半波长时，发生相消叠加，反射率最低；

整数倍和半波长的叠加，反射率介于最大反射和最小反射之间。

该相位差的变化取决于膜的厚度d和折射率n。已知材料的光学参数(n,k)可以从该光学系统的反射率R(,d,n,k)导出。

当为器件中的光学参数（n，k）赋值时，可以计算反射率R并与器件的测量反射率R'进行比较。通过强大的算法计算，当反射率曲线R与测量的反射率R'曲线完美拟合时，通过分析干涉图案就可以得到薄膜的厚度d。

Youkosi膜厚测量仪原理示意图。综上所述，从理论上讲，只有透明或半透明材料制成的薄膜才能被光波穿透，因此可以用薄膜厚度测量仪进行测量。然而，一些不透明材料，例如金属，在某些情况下也可以测量。当金属薄膜只有几百纳米甚至几纳米薄时，就可以被一些光波穿透，然后就可以进行精确测量。薄膜厚度。

02 产品优势

(1) 超高精度分辨率1

Ukotest AF-3000系列摒弃了传统的整体波段拟合，采用独特的“分波段拟合算法”，精确修正偏差，显着降低紫外波段偏差，从而实现1的超高分辨率。

1是什么概念？正常人头发的直径约为60微米，1相当于头发直径的六十万分之一！

(2)多层测量，光谱稳定

Ukotest AF-3000系列放弃了传统的LED光源，改用“氘灯”和“卤钨灯”，光强均匀，通道稳定。支持单层薄膜、多层薄膜、液膜、气隙测试。层、粗糙/光滑层、折射率，最多可测量10 层薄膜。一机覆盖多机测量范围，测量结果更准确。

(3)适合多场景配置

Youketest AF-3000系列支持离线、在线、Mapping模式、全自动测量场景。还可定制以满足客户实际应用的额外需求。还提供售后调试和软件开发协助服务。

03 应用领域以及行业需求

目前，膜厚测量在各行业有着广泛的应用，涉及：

精密光学行业的二氧化硅膜、氟化钙膜；

半导体行业的量子点芯片、光刻胶、GaN涂层等；

新能源/光伏行业的钙钛矿、ITO等；

显示面板行业的镀膜、微通道等；

工具行业的表面涂层；

高分子材料行业中的PI薄膜等

04 应用案例

案例一：

近日，优科测收到了某大学寄来的样品，希望能够测量硅片表面镀有的金属镍薄膜，以供研究使用。厚度只有几个纳米！工程师了解客户需求后，使用AF-3000系列膜厚测量设备为客户进行测试。结果如下：

从镍膜厚度测量结果可以看出，AF-3000系列的光波在测量过程中非常稳定。检测到的Ni膜厚度约为3.5nm，匹配度达到0.009081！

尽管几纳米的金属膜已经很薄了，但这还不是Uke的测量极限！ Ukotest的膜厚测量仪具有1的超高分辨率和0.1nm的精度。也就是说，即使薄膜厚度只有1nm，我们的仪器仍然可以准确测量！

“没想到优科测在膜厚测量领域如此有造诣，测量结果如此准确，这对我们的研究有很大帮助。非常感谢优科测工程师的专业和及时”。客户收到测试报告后，对Uketest膜厚测量仪连连称赞。

案例二：

某研究所希望检测PI膜的膜厚，精度要求0.1nm。在了解客户的需求后，Ukotest工程师使用Ukotest的膜厚测量AF-3000系列为客户进行测试。测试结果如下：

陶瓷基板上PI膜厚的测量结果。铜上PI膜厚的测量结果如图所示。实测陶瓷基板上的PI膜厚度为4602.4nm，匹配度达到0.009079！检测铜上PI膜的膜厚为29657.2nm，匹配度为0.291977。

Uketest的膜厚测量仪最多可以测量10层膜。无论有多少层薄膜，都无法阻挡Uketest的测量精度！