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划片机的性能决定了芯片产品的质量吗(划片机的性能决定了芯片产品的质量对吗)

划片机是集成电路器件切割、封装的关键设备,其中砂轮划片机是主流。在封装过程中使用划片机,可以将包含多个芯片的晶圆分割成芯片颗粒,从而获得单个芯片。其性能直接决定芯片产品的质量,分为砂轮划片机和激光划片机。

(1)砂轮划片机:采用物理加工方法,利用特制刀片以0.1400毫米/秒的速度旋转,与加工工件一起刮削切屑,达到切穿切屑的目的。

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(2)激光划片机:采用高温溶解方式,用高能激光束照射工件表面,使照射区域局部熔化、汽化,从而达到划片的目的。目前,由于价格等因素,砂轮划片机仍占据主流地位。

随着技术的不断发展,对划片机的性能要求也在不断提高。根据摩尔定律,半导体工艺越来越小,晶圆直径越来越大,芯片尺寸越来越小,切割通道越来越窄,对划片机的要求越来越高。划片机性能的关键指标包括重复定位精度、划片尺寸、稳定性等,这些指标的影响因素是划片机运动过程中产生的各种误差,如划片机本身的计数误差、由划片机引起的热误差等。温度等

主轴被称为“机械关节”,在划片机的切割过程中起着重要的作用。主轴是现代机械设备不可缺少的基础部件,广泛应用于半导体、医疗、汽车涂装、高端机床、军工等领域。在划片机中,主轴通过主轴座直接固定在Z轴滑台上。划片机运行时,通过轴的旋转和Y轴的直线运动对刀,通过Z轴的直线运动控制切割深度,通过直线进给对工件进行切割主轴和X轴的运动。划片机对主轴的转速和运动精度要求较高。因此,划片机一般采用气浮驱动的高速主轴,并在主轴内部设有内循环冷却系统,用于冷却快速切割时产生热量的刀片。

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